性質(zhì)：

極紫外光能夠電離幾乎所有的組成普通物質(zhì)的原子和分子的特性使得它無法在普通物質(zhì)（包括空氣）中傳播，只能在真空中傳播，所以極紫外光也稱為真空紫外光。因此，極紫外激光無法在普通物質(zhì)中產(chǎn)生和放大，只能在“特殊物質(zhì)”中產(chǎn)生，這個“特殊物質(zhì)”就是脫離原子核而單獨存在的自由狀態(tài)的電子。

根據(jù)電動力學(xué)原理，加速運動的電子會向外輻射電磁波，尤其是來回變向跑動（振蕩）的電子輻射電磁波能力非常強(qiáng)。常用的無線信號，無論是電視還是手機(jī)，都是通過驅(qū)使電子在天線里來回振蕩發(fā)射電磁波。在大量極紫外相干光源中，時間寬度為幾個皮秒（1皮秒 = 1萬億分之一秒）的脈沖激光（驅(qū)動激光）在光陰極上打出一簇高密度的脈沖電子，利用直線加速器將這個脈沖電子束加速到3億電子伏特的能量（這相當(dāng)于讓電子穿越3億伏的超高壓電場）。這時，由于相對論效應(yīng)，電子的速度與光速非常接近。再用另一束皮秒或者亞皮秒時間寬度的強(qiáng)激光（種子激光）照射在這個高能電子束上，電子束中的電子在種子激光的電磁場的作用下，就會按照激光的波長在空間重新分布（調(diào)制），其中含有豐富的諧波成分。然后讓空間分布被調(diào)制的電子束繼續(xù)穿越一系列周期性變化的磁場（即波蕩器）。

極紫外光

根據(jù)電磁學(xué)原理，電子在周期性磁場中會一邊以光速向前飛行，一邊左右擺動，這樣電子就會向前輻射出光線。由于電子飛行的速度和光速非常接近，電子在飛行途中各處發(fā)射的光會疊加增強(qiáng)，同時電子自身輻射的光也在調(diào)制電子自己的空間分布，從而使得電子更加強(qiáng)烈地輻射光線。如果適當(dāng)?shù)剡x擇周期性磁場的強(qiáng)度，就會使得種子激光中的某個諧波成分按照前述方式急劇地自激放大并達(dá)到飽和，從而輸出極紫外光。